真空爐爐膛內的壓力可以抽成低于大氣壓力的工業爐。用電加熱真空爐﹐加熱過的工件表面不氧化。不脫碳﹐變形小﹐良好的機械性能。用真空爐熔煉金屬有利于去除雜質﹐成品針孔少、偏析小﹑質量好。高品質的真空爐適用﹑高純度﹑熔化和加熱難熔金屬﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐高溫合金鋼的鍛煉及磁性材料﹐電工資料﹑高強鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等熱處理。真空爐出現在20世紀30年代左右。1927年，美國制造了電工數據真空退火爐。1953年，真空自耗電弧爐在工業上被用于熔煉海綿鈦。真空感應爐在20世紀50年代左右在工業上得到了廣泛的應用。美國于1960年開發了一種油淬真空爐。

真空爐

爐膛一般采用真空爐﹑電熱設備﹑密封爐殼﹑真空體系﹑電源系統和溫度控制系統等組成。用碳鋼或不銹鋼焊接密封爐殼﹐可拆卸零件的接合面用真空密封數據密封。為了防止爐殼受熱后變形和密封數據受熱變質﹐爐殼一般采用水冷或氣冷冷卻。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子的用途﹐爐膛內裝有不同類型的加熱元件。﹐如電阻﹑感應線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐內裝有熔煉金屬﹐有些還配備了主動澆注設備和裝卸機械手等。真空系統主要由真空泵組成﹑由真空閥、真空計等組成。

20世紀50年代，無芯感應爐發展迅速。后來出現了電子束爐，用電子束沖擊固體燃料，可以加強外部加熱，熔化高熔點數據。用于鑄造加熱的爐子最早是手工鍛造的，其工作空間是一個凹槽，里面裝滿了煤。燃燒的空氣由槽的下部供應，工件埋在煤中加熱。這種爐子熱效率低，加熱質量差，只能加熱小工件。未來，它將發展成一種半封閉或完全封閉的室式爐子，由耐火磚制成。它可以用煤、氣或油作為燃料，也可以用電作為爐子中的熱源。

為了方便加熱大型工件，出現了適合加熱鋼錠和大鋼坯的臺車式爐，為了加熱長桿，出現了井式爐。20世紀20年代后，出現了各種機械化、主動化的爐型，可以提高爐子的生產率和勞動條件。隨著燃料資源的發展和燃料轉化技能的提高，工業爐的燃料也逐漸從煤、焦炭、煤粉等固體燃料中轉化為煤氣、城市燃氣、天然氣、柴油、燃料油等氣體和液體燃料。，并開發了適合所用燃料的各種焚燒設備。